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    硅材料硅產品清洗超純水設備

    作者:北京水處理設備公司來源:超純水設備發布時間:2017-03-07

       硅材料硅產品清洗超純水設備,對水質的要求嚴格,因為微量污染也會導致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質,包括有機物和無機物,這些雜質會以不同的形式附著在硅體的表面,其中有機物包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴重影響少數載流子壽命和表面電導,堿金屬如鈉等,引起嚴重漏電,顆粒污染包括硅渣、塵埃、細菌、微生物、有機膠體纖維等,會導致各種缺陷。

    超純水設備

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